Équipements et outils pour semi-conducteurs

Pour l’automatisation de vos usines de semi-conducteurs, ATG Technologies en partenariat avec Focussia, vous propose divers équipements et outils pour semi-conducteurs. Nos solutions agiles et innovantes sont conçues pour répondre aux contraintes et aux exigences de votre ligne de production en matière de manutention, de chargement, de déchargement et de transport des wafers ainsi que des pods/foups.

La manipulation de wafers automatisée

Les équipements et outils pour semi-conducteurs sont des solutions robotiques industrielles conçues pour la préhension, le chargement, le déchargement, le transport et l’inspection des wafers contenus ou non dans des cassettes pods/foups.

En effet, la fabrication des plaquettes de silicium et leur transformation en semi-conducteurs constituent un processus long et complexe. Les plaquettes de silicium sont des produits fragiles alors que leur coût de production est très onéreux. En intégrant ces équipements et outils, les industries en semi-conducteurs réduisent le taux de défectuosité et les rejets. Ces solutions garantissent la fiabilité et la précision de la manipulation et du transport des wafers. Les pertes substantielles sont ainsi réduites et la qualité des produits est optimisée, garantissant la satisfaction client.

Grâce à leur cadence de travail élevée, l’intégration de ces solutions robotiques permet également aux industries d’optimiser leur productivité. Les coûts de la production sont en même temps réduits grâce à l’automatisation des tâches répétitives et à faible valeur ajoutée. Cela rend l’industrie plus compétitive. De leur côté, les salariés voient leurs conditions de travail optimisées dans la mesure où ils n’auront pas à manipuler des produits délicats et à réaliser des tâches trop ennuyantes. Ils peuvent être affectés à des tâches plus valorisantes.

Liste des équipements de manutention de wafers

ATG Technologies et Focussia conçoivent et réalisent divers équipements et outils pour semi-conducteurs. Parmi ceux-ci figure le SideLoader. Il s’agit d’un robot collaboratif innovant, performant et compact conçu pour le chargement et le déchargement automatique des pods et foups. Il se déploie notamment dans des loadports ne pouvant être desservis par les véhicules de transport automatisés (AMHS). Son faible taux d’encombrement rend plus simple la mise en place de cet outil.

Outre le Sideloader, le manipulateur mobile ou Comobot™ fait également partie des solutions performantes et agiles proposées par ATG Technologies. Les industries de semi-conducteurs en ont besoin pour le transport des pods ou foups dans les zones dans lesquelles les OHT ne peuvent pas opérer. Le Comobot™ permet également d’étendre le champ d’intervention des AMHS.

Le FSI Smartcell figure également parmi les équipements et outils pour semi-conducteurs conçus et fabriqués par ATG Technologies. Il s’utilise pour l’automatisation du chargement des machines FSI Mercury. Il assure la manipulation des pods ou foups contenant des wafers. Il garantit en même temps l’équilibrage des plateaux de lavage en manipulant individuellement les wafers. L’équipement est également en mesure de gérer les recettes de nettoyage.

Enfin, le Foup Inspection System est un système d’inspection conçu pour la détection de tout dommage ou contamination physique des foups à n’importe quelle étape du cycle de production. Le système est à intégrer dans la ligne de production. Il constitue l’une des solutions les plus innovantes et les plus fiables pour la recherche des défauts dans le cadre de l’optimisation de la qualité de votre foup dans votre Fab.

Innovations récentes dans les équipements pour semi-conducteurs

L’industrie des semi-conducteurs est en perpétuelle évolution, avec des innovations constantes qui transforment les processus de fabrication et augmentent l’efficacité et la performance des divers dispositifs électroniques. Ces avancées technologiques permettent de répondre aux exigences croissantes de miniaturisation, de performance et de réduction des coûts.

Parmi ces innovations, on compte tout d’abord celles qui concernent les équipements de lithographie extrême ultraviolet (EUV). La lithographie EUV permet de graver des circuits beaucoup plus fins et précis sur les wafers de silicium, ce qui est important pour la production de puces de nouvelle génération. Cette technologie utilise des longueurs d’onde de lumière extrêmement courtes, donnant la possibilité de créer des motifs de taille nanométrique avec une grande précision. 

Les avancées dans les équipements de dépôt de couches atomiques (ALD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) sont également notables. Avec ces technologies, on peut déposer des couches minces de matériaux avec une précision atomique, ce qui est indispensable pour la fabrication de transistors plus petits et plus rapides. À noter que les équipements ALD et CVD modernes permettent de contrôler l’épaisseur des couches à l’échelle de l’atome.

Les innovations dans les équipements de gravure plasma ont elles aussi un impact significatif. Les systèmes de gravure plasma de nouvelle génération offrent un contrôle plus précis et plus uniforme des processus de gravure. Cela est indispensable pour créer des structures complexes sur les wafers de silicium.

Les progrès dans les équipements de test et de métrologie jouent enfin un rôle clé dans l’assurance qualité et la fiabilité des semi-conducteurs. Les outils de test modernes, dotés de capacités d’intelligence artificielle et d’apprentissage automatique, donnent l’opportunité de détecter et de corriger les défauts plus rapidement et avec une plus grande précision. Les équipements de métrologie avancés, quant à eux, permettent de mesurer avec une précision nanométrique les dimensions et les propriétés des dispositifs semi-conducteurs.

ATG Technologies – Fabricant d’équipements et outils pour semi-conducteurs

Faites d’ATG Technologies et de Focussia vos partenaires pour la modernisation de vos unités de production de semi-conducteurs. Nous sommes des spécialistes du robot collaboratif ou cobot et nous concevons et réalisons des solutions cobotiques dédiées aux industries de semi-conducteurs. Le Sideloader et le Comobot que nous proposons sont entièrement intégrés aux standards de communications de la FAB (SECS/GEM/E84). Ils se déploient dans les projets de modernisation des unités inaccessibles aux systèmes OHT. Quant au FSI Smartcell et au Foup Inspection System d’ATG Technologies et de Focussia, ces solutions bénéficient des dernières innovations technologiques, et sont conçues pour optimiser votre productivité et la qualité de vos produits.

Obtenez plus d’informations sur nos équipements et outils pour semi-conducteurs en nous contactant.