Cellules robotisées de manipulation des wafers semi-conducteurs
Une seule tranche de wafers de silicium manipulés dans la zone « back-end » coûte plusieurs milliers d’euros. Ce qui signifie que toute erreur de manipulation peut entraîner une perte substantielle pour l’entreprise. Pour faciliter et sécuriser le processus de manipulation des wafers, nombreuses sont les industries de semi-conducteurs qui déploient des solutions innovantes. Parmi ces solutions figurent les cellules robotisées de manipulation des wafers semi-conducteurs d’ATG Technologies.
La manipulation de wafers – Un processus demandant de la précision
La fabrication des semi-conducteurs est un processus long, complexe et demandant une très grande précision. Durant leur traitement dans la salle blanche, les wafers ou les tranches de silicium doivent être manipulées plusieurs fois. Cette manipulation doit être ultra-sécurisée afin de maintenir la qualité et l’intégrité des wafers contenus dans les pods ou les foups.
Les industries de semi-conducteur automatisent aujourd’hui les opérations de manipulation des wafers. Dans cette optique, elles déploient des cellules robotisées de manipulation des wafers semi-conducteurs d’ATG Technologies. Avec celles-ci, les opérations de manipulation des wafers ou des plaques de silicium s’effectuent avec une très grande précision dans le souci de les protéger. Ces solutions robotiques réalisent avec précision la préhension des wafers, ainsi que le chargement et le déchargement des pods/foups. Les cellules robotisées sont d’une grande utilité lors des procédés de revêtement sophistiqués, lors du conditionnement des wafers ou l’intégration 3D.
Pourquoi automatiser la manipulation des wafers dans un process fab ?
Il est important d’automatiser la manipulation des wafers dans un process fab étant donné qu’à ce stade, les wafers se trouvent à quelques étapes finales de leur fabrication. La fiabilité des cellules robotisées permet de les manipuler d’une manière ultra-sécurisée et d’empêcher qu’ils se cassent. La précision de leur mouvement est de l’ordre de -+50 microns. Cela garantit la fiabilité du prélèvement et de l’insertion des onéreuses tranches de silicium. À la fin du processus, aucune détérioration de wafer n’est à enregistrer.
Intégrer les cellules robotisées de manipulation des wafers semi-conducteurs permet aux industries d’assurer la fiabilité et l’efficacité de leur processus de fabrication. Elles verront également leur compétitivité augmenter grâce à ces solutions.
Outre une cadence de travail élevée optimisant la productivité, elles bénéficient aussi d’un taux de défectuosité réduit en fin de ligne de production. De plus, les erreurs de manipulation sont presque inexistantes. Ainsi, la qualité des produits est garantie, ce qui assure la satisfaction client.
Enfin, l’intégration de ces solutions robotiques de manutention de wafers optimise les conditions de travail des opérateurs. Ils n’auront plus à effectuer des tâches trop répétitives, ennuyantes et à faible valeur ajoutée. Ils peuvent se voir confier des tâches plus valorisantes dans la ligne de production.
Les cellules robotisées de manutention des wafers sont conçues pour maintenir le niveau de propreté dans le lieu de travail. Elles sont fabriquées conformément aux normes et s’utilisent correctement dans des salles blanches.
ATG Technologies – Concepteur de cellules robotisées de manipulation des wafers semi-conducteurs
Pour automatiser et sécuriser la manipulation de vos wafers, choisissez les solutions robotiques agiles et sur mesure, conçues et réalisées par ATG Technologies. Nos cellules robotisées de manipulation des wafers semi-conducteurs, appelées SideLoader, sont constituées de robots collaboratifs, élaborés pour réaliser efficacement et en toute fiabilité les opérations de chargement et de déchargement de vos plaques de silicium ou wafers.
Le SideLoader d’ATG Technologies est facile à déployer dans la mesure où il ne demande pas un grand espace pour prendre place. Il s’agit d’une solution bénéficiant de la dernière innovation technologique. Il est conçu conjointement par ATG Technologies et Focussia. Puisqu’il s’agit d’un cobot, il est en mesure d’interagir en toute sécurité avec vos opérateurs.
Pour obtenir plus d’informations, n’hésitez pas à contacter notre équipe d’experts qui vous fournira une réponse rapide et détaillée.