Foup Inspection System pour FAB 300mm
Foup Inspection System pour FAB 300mm
L’équipement FOUP Inspection System permet d’automatiser le processus de contrôle des FOUP (wafer de 300 mm). Le contrôle est ainsi plus fiable, plus complet et plus rapide que dans sa version manuelle. Il donne aussi plus d’assurance sur le fait que le prochain lot de wafers sera traité dans un FOUP conforme aux normes Semi. Dans sa configuration standard, cet équipement est capable de :
- Identifier le type de FOUP analysé ;
- vérifier l’adéquation entre la coque et sa porte ;
- vérifier l’absence de wafers et de débris wafers/foup à l’intérieur de la coque avant analyse ;
- vérifier l’intégrité du système d’ouverture de porte ;
- vérifier la position du filtre du port de purge ;
- vérifier la présence du clamp ;
- compter et vérifier la position des retainers sur la porte ;
- vérifier l’intégrité du joint de porte ;
- vérifier la position du peigne de blocage porte ;
- vérifier que la porte est bien clippée en position fermée.
Foup Inspection System
Caractéristiques techniques
- Chargement automatisé des FOUP par les OHT de la Fab (mode manuel disponible).
- Lancement automatique du process de contrôle (mode manuel disponible via l’IHM).
- Identification et contrôle des éléments critiques par caméra.
- Isolement instantané des FOUP défectueux, information de l’automation en temps réel.
- Stockage des fichiers de contrôle et des résultats des tests en local puis transfert automatisé vers le MES.
High Througput
Fully Connected
Low Footprint
High Ergonomics
ATG Technologies
Entrez dans l'industrie 4.0
Des solutions technologiques pour les FAB semicon
Foup Inspection System
Les avantages
- La mise en oeuvre d’un processus de contrôle des FOUP plus fiable, plus complet et plus rapide.
- La garantie que les futurs lots de wafers seront traités dans des FOUP « Fit For Use ».
- La réalisation de dix tests en 2 minutes 30 secondes dans la configuration standard.
- Le faible encombrement de la cellule.
- Le fonctionnement complètement automatisé avec un mode manuel disponible.
- L’installation plug and play de la cellule autonome placée sous FFU pour prévenir de la contamination.
- Le pilotage en direct par l’automatisation grâce à la plateforme SmartGem.
- La configuration rapide des éventuels nouveaux défauts.
- L’intégration facile de nouveaux types de FOUP dans le processus de la Fab.
