Contrôle qualité de boites de transport (foups)
Nous proposons une machine de série permettant d’automatiser le contrôle des coffrets de transport (Pods ou Foups) ou des paniers eux-mêmes.
Les performances et bénéfices des systèmes de contrôle qualité
Les systèmes de contrôle qualité de boîtes de transports de wafers proposent plusieurs bénéfices importants dans la fabrication des semi-conducteurs. Il y a tout d’abord l’amélioration de l’ergonomie du poste de travail, qui contribue à la réduction des troubles musculo-squelettiques (TMS). En automatisant certaines tâches répétitives et en optimisant la disposition des équipements, ces solutions limitent la fatigue des opérateurs et améliorent le confort de travail.
La fiabilisation des manutentions fait aussi partie de leurs atouts. Cela est essentiel pour éviter toute dégradation des composants sensibles. Grâce aux robots et aux systèmes de manipulation précis, les risques de casse ou de contamination sont considérablement réduits, ce qui garantit un haut niveau de qualité. Il y a d’ailleurs l’amélioration de la traçabilité du process, qui permet un suivi détaillé de chaque étape de fabrication.
L’intégration de capteurs et de logiciels de gestion assure tout particulièrement une surveillance en temps réel et facilite la conformité aux normes strictes du secteur. Ces systèmes assurent enfin la diminution des apports particulaires. Cela réduit les risques de contamination, un enjeu important en environnement ultra-propre. L’usage de technologies avancées donne la possibilité d’optimiser la propreté des zones de production et d’obtenir des performances optimales.
Les différents cas d'application
Cas 1 : Systèmes d'inspection de Foups (300mm)
Avantages d'un système d'inspection FOUP
L'utilisation d'un système d'inspection FOUP offre de nombreux avantages à toute fabrique de semi-conducteurs, tels que :
- Mettre en œuvre un processus de contrôle des FOUP plus complet et plus rapide.
- S'assurer que les wafers sont traités dans des FOUP "Fit For Use".
- Ajouter la détection de nouveaux défauts grâce à un processus de configuration rapide.
- Intégrer facilement de nouveaux types de FOUP dans le processus de fabrication.
Applications des systèmes d'inspection FOUP
Un système d'inspection de FOUP peut inclure les applications suivantes :
- Identifier le type de FOUP et l'adéquation FOUP/Porte
- Inspecter l'intégrité du Mushroom de transport
- Inspection de l'intégrité du système d'ouverture des portes
- Inspecter l'intégrité du purge port
- Vérification de l'intégrité des slots et des portes des FOUP
- Contrôle de l'absence de contamination physique
Equipement polyvalent permettant d'ajouter de nouvelles inspections de défauts sur demande.
Cas 2 : Contrôle qualité de pods
Les Pods et les paniers étant au contact des wafers tout au long du process, il est absolument nécessaire de contrôler leur intégrité physique avant de pouvoir les réutiliser dans un nouveau cycle de fabrication.
Système fixe de table permettant de contrôler à la fois les paniers ou les pods.
Cas 3 : Contrôle qualité de foups
Les Foups et les paniers étant au contact des wafers tout au long du process, il est absolument nécessaire de contrôler leur intégrité physique avant de pouvoir les réutiliser dans un nouveau cycle de fabrication.
- Le système est alimenté par les OHT
- Le robot ouvre le Foup et dispose la porte sur son support d’inspection
- De part la complexité du contrôle la caméra est embarquée sur le bras robotisé
- Les mouvements du robot sont synchronisés avec des loadports rotatifs pour rendre toutes les faces accessibles.
Obtenir un devis personnalisé pour un système de contrôle qualité
L’intégration de systèmes de contrôle qualité de boites de transports de wafers performants constitue un levier essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs souhaitant assurer des niveaux de précision et de fiabilité optimaux. En réduisant les taux de défauts, en automatisant l’inspection et en améliorant la traçabilité, ces technologies contribuent à une production plus efficace et conforme aux exigences du marché. L’investissement dans ces solutions représente ainsi un atout stratégique pour rester compétitif. Prenez contact avec nos équipes commerciales afin d’obtenir un devis personnalisé ou de la documentation pour un système de contrôle qualité de Foups ou de Pods ATG Technologies