Contrôle qualité de boites de transport (foups)
Nous proposons une machine de série permettant d’automatiser le contrôle des coffrets de transport (Pods ou Foups) ou des paniers eux-mêmes.
Les performances et bénéfices des systèmes de contrôle qualité
Les différents cas d'application
Cas 1 : Systèmes d'inspection de Foups (300mm)
Avantages d'un système d'inspection FOUP
L'utilisation d'un système d'inspection FOUP offre de nombreux avantages à toute fabrique de semi-conducteurs, tels que :
- Mettre en œuvre un processus de contrôle des FOUP plus complet et plus rapide.
- S'assurer que les wafers sont traités dans des FOUP "Fit For Use".
- Ajouter la détection de nouveaux défauts grâce à un processus de configuration rapide.
- Intégrer facilement de nouveaux types de FOUP dans le processus de fabrication.
Applications des systèmes d'inspection FOUP
Un système d'inspection de FOUP peut inclure les applications suivantes :
- Identifier le type de FOUP et l'adéquation FOUP/Porte
- Inspecter l'intégrité du Mushroom de transport
- Inspection de l'intégrité du système d'ouverture des portes
- Inspecter l'intégrité du purge port
- Vérification de l'intégrité des slots et des portes des FOUP
- Contrôle de l'absence de contamination physique
Equipement polyvalent permettant d'ajouter de nouvelles inspections de défauts sur demande.
Cas 2 : Contrôle qualité de pods
Les Pods et les paniers étant au contact des wafers tout au long du process, il est absolument nécessaire de contrôler leur intégrité physique avant de pouvoir les réutiliser dans un nouveau cycle de fabrication.
Système fixe de table permettant de contrôler à la fois les paniers ou les pods.
Cas 3 : Contrôle qualité de foups
Les Foups et les paniers étant au contact des wafers tout au long du process, il est absolument nécessaire de contrôler leur intégrité physique avant de pouvoir les réutiliser dans un nouveau cycle de fabrication.
- Le système est alimenté par les OHT
- Le robot ouvre le Foup et dispose la porte sur son support d’inspection
- De part la complexité du contrôle la caméra est embarquée sur le bras robotisé
- Les mouvements du robot sont synchronisés avec des loadports rotatifs pour rendre toutes les faces accessibles.
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