Sideloader – FAB 200mm et 300mm Loading equipement
Sideloader – FAB 200mm et 300mm Loading equipement
Le Sideloader est un équipement robotisé collaboratif et compact, capable de charger et de décharger automatiquement des équipements avec des POD (Wafer 200mm) ou des FOUP (Wafer 300mm). C’est “the last meter delivery solution” qui permet d’étendre le champ d’opération des AMHS (véhicules de transport automatisé) qui ne sont pas en mesure d’accéder aux différents îlots dans certaines Fab Front-End.
Le Sideloader est une solution agile pour tout projet de modernisation de ligne de production en Fab 200mm et 300mm. En plus de ses fonctions de chargement automatique et d’extension des AMHS, il cumule les avantages d’un stockage local positionné au plus près des équipements et la fonction Hub entre les divers modes de transport des PODS/FOUP (Manuel, AMHS, Robotique mobile au sol). Grâce à ses normes de communication FAB entièrement intégrées (SECS/GEM/E84), sa configuration simple et flexible ainsi que son faible encombrement, le Sideloader s’insère parfaitement dans tout système ou unité de production existant.
Sideloader
Caractéristiques techniques
- Etagères intelligentes modulables
- Communication SECS/GEM E30 / Stocker E88
- Communication infrarouge SEMI E84
- Interface tactile ergonomique E95
- Mode Auto, Semi-Auto, Manuel
- Configuration flexible et évolutive
- Pour équipement de 1 à 7 loadports
- Radar de sécurité multi-zones
- >900 transferts / heure
- Robot collaboratif
- Préhenseur 200-300mm
High Througput
Fully Connected
Low Footprint
High Ergonomics
ATG Technologies
Entrez dans l'industrie 4.0
Des solutions technologiques pour les FAB semicon
Sideloader
Les avantages
- Accroissement de la cadence de chargement et de déchargement de tools des îlots de production ;
- Amélioration de l’ergonomie du poste de travail et réduction des risques TMS des opérateurs ;
- Optimisation de la traçabilité et fiabilisation des manutentions ;
- Garantie de la convergence entre les différents moyens de transport automatisés ou non au sein de la FAB (AMHS/AMR/Opérateur).
